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旋涂勻膠機工作原理和性能
勻膠機
(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達控制器,其設(shè)置點精度小于0.006%。
通過PLC控制系統(tǒng),運行干擾小,可靠性高。人機交互按鍵顯示操作,界面友好,更直觀便捷,用戶可靈活編制、儲存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。
勻膠機可以設(shè)定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程,每個程序段都能設(shè)定51步速度改變,當(dāng)前參數(shù)具斷電保護功能。
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